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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH0243731(A)
申请公布日期
1990.02.14
申请号
JP19880194223
申请日期
1988.08.03
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
IMAFUKU KAZUHIRO
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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