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发明名称 APPARATUS FOR LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH0244095(A) 申请公布日期 1990.02.14
申请号 JP19880195261 申请日期 1988.08.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UEDA TOSHIYUKI;KAWACHI TETSUYA;YAMAMOTO TAMOTSU;ITO MICHIHARU;YAMAMOTO KOSAKU;HIROTA KOJI
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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