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经营范围
发明名称
FINE PROCESSOR
摘要
申请公布号
JPH0243728(A)
申请公布日期
1990.02.14
申请号
JP19880194992
申请日期
1988.08.04
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
UMETANI MAKOTO;MONJU HIDETO;KURIBAYASHI KIYOSHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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