SUBSTRATE HOLDER,申请号JP19880191501-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号	JPH0243363(A)	申请公布日期	1990.02.13
申请号	JP19880191501	申请日期	1988.07.29
申请人	NEC CORP	发明人	FUJITA JUNICHI;YOSHITAKE TSUTOMU
分类号	C23C14/50	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
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