| 发明名称 |
PROCESSO PARA DEPOSICAO DE COMPOSTOS DO GRUPO III-V SOBRE UM SUBSTRATO SEMICONDUTOR E PROCESSOS PARA CRESCIMENTO EPITAXIAL DE UM SEMICONDUTOR DE COMPOSTO DO GRUPO III-V SOBRE UM SUBSTRATO |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
BR8903288(A) |
申请公布日期 |
1990.02.13 |
| 申请号 |
BR19890003288 |
申请日期 |
1989.07.04 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
THOMAS FRANCIS KUECH;MICHAEL ALBERT TISCHLER |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B25/02;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
