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发明名称 MULTILAYERED FILM REFLECTING MIRROR FOR SOFT X RAY
摘要
申请公布号 JPH0242399(A) 申请公布日期 1990.02.13
申请号 JP19880192158 申请日期 1988.08.02
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 KATAOKA IZUMI;ETO KAZUYUKI;ITO KAZUHIKO
分类号 G21K1/06;G02B5/08 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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