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发明名称 APPARAT OG FREMGANGSMAATE FOR MAGNETRONKATODISK PAAFOERING ELLER SPUTTERING AV MATERIALE.
摘要
申请公布号 NO163414(B) 申请公布日期 1990.02.12
申请号 NO19840001073 申请日期 1984.03.20
申请人 BOC GROUP PLC, THE 发明人 MCKELVEY, HAROLD E.
分类号 C23C14/36;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/50;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
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