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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0240847(A) 申请公布日期 1990.02.09
申请号 JP19880190400 申请日期 1988.07.29
申请人 TERU BARIAN KK 发明人 TAKAZOE TOSHIHIKO
分类号 H01J37/08;H01J27/02;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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