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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0240910(A)
申请公布日期
1990.02.09
申请号
JP19880191675
申请日期
1988.07.31
申请人
NEC CORP
发明人
NISHIGUCHI TAKAO
分类号
H01L21/027;H01J23/065;H01J37/305
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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