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经营范围
发明名称
NORMAL PRESSURE TYPE VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0239532(A)
申请公布日期
1990.02.08
申请号
JP19880189873
申请日期
1988.07.29
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
FURUKAWA MICHIYO
分类号
H01L21/31;H01L21/314
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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