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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0239551(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880189850 申请日期 1988.07.29
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MACHIDA KATSUYUKI;OIKAWA HIDEO;HASHIMOTO CHISATO;MORIYA SHIGERU
分类号 H01L21/768;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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