发明名称 LARGE SCALE DIGITAL INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0238878(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880189239 申请日期 1988.07.28
申请人 NEC CORP 发明人 HIRAYAMA TETSURO
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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