发明名称 |
SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0238905(A) |
申请公布日期 |
1990.02.08 |
申请号 |
JP19880188420 |
申请日期 |
1988.07.29 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KONDO HITOSHI;HOSAKA SUMIO |
分类号 |
G01B7/34;G01B7/00;G01N23/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10;G01Q60/24;G01Q60/50;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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