发明名称 SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0238905(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880188420 申请日期 1988.07.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 KONDO HITOSHI;HOSAKA SUMIO
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01N23/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10;G01Q60/24;G01Q60/50;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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