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发明名称 STEM FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0238831(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880190442 申请日期 1988.07.28
申请人 NEC CORP 发明人 SUDA MASAHIRO
分类号 G01L9/04;G01L9/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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