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发明名称 OPERATION CONTROL METHOD FOR TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH0240096(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880191077 申请日期 1988.07.29
申请人 NIPPON FERROFLUIDICS KK 发明人 YAMAMURA AKIRA
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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