发明名称 LARGE-SCALE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0239454(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880191551 申请日期 1988.07.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIRASAGO TOSHIAKI;KITAMURA TETSUYA
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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