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发明名称 APPARATUS FOR PREVENTING FILM FOR FALLING OFF IN CVD REACTION CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH0239422(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880189442 申请日期 1988.07.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KUSUBE SHIYOUZOU
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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