发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0239539(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880190240 申请日期 1988.07.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIKAWA SUSUMU;SAWADA SHIZUO
分类号 H01L21/768;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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