| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0239534(A) |
申请公布日期 |
1990.02.08 |
| 申请号 |
JP19880188410 |
申请日期 |
1988.07.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OYU SHIZUNORI;TAMURA MASAO;KASHU NOBUYOSHI;MIYAO MASAYOSHI;NISHIOKA TAIJO |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/322;H01L21/336;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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