发明名称 LSI FORM SIMULATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0239271(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880186874 申请日期 1988.07.28
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAZAWA SATOSHI;MATSUO SEITARO;SAITO KAZUYUKI;YOSHII AKIRA
分类号 H01L21/302;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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