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发明名称
ROENTGENLITHOGRAPHIEGERAET.
摘要
申请公布号
DE3480972(D1)
申请公布日期
1990.02.08
申请号
DE19843480972
申请日期
1984.07.13
申请人
FEINFOCUS VERWALTUNGSGESELLSCHAFT MBH & CO KG, 3050 WUNSTORF, DE
发明人
REINHOLD, ALFRED, D-3050 WUNSTORF 1, DE
分类号
G03F7/20;H01J35/00;(IPC1-7):H01J35/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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