发明名称 SYSTEM FOR CONTROLLING CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH0238398(A) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 JP19880189858 申请日期 1988.07.29
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 ODAKA HIROHISA
分类号 C30B23/08;H01L21/208 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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