发明名称 FORMATION OF NON-SINGLE CRYSTAL THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0238570(A) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 JP19880117299 申请日期 1988.05.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AKIYAMA KOJI;TANAKA EIICHIRO;TAKIMOTO AKIO;WATANABE MASANORI
分类号 C23C16/30;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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