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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CAUSING PLASMA REACTION UNDER ATMOSPHERIC PRESSURE
摘要
申请公布号 EP0346055(A3) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 EP19890305671 申请日期 1989.06.06
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN 发明人 OKAZAKI, SACHIKO;KOGOMA, MASUHIRO
分类号 C23C16/30;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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