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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PRAEZISIONSRASTERSYSTEMS
摘要
申请公布号 DD275800(A3) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 DD19880312480 申请日期 1988.01.28
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 FREITAG,HANS-JOACHIM,DD;SCHUCHARDT,GERD,DD
分类号 G01B7/02;G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/38 主分类号 G01B7/02
代理机构 代理人
主权项
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