| 发明名称 |
THIN FILM-FORMING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0238561(A) |
申请公布日期 |
1990.02.07 |
| 申请号 |
JP19880188827 |
申请日期 |
1988.07.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KAWAGOE YASUYUKI;YAMANISHI KENICHIRO;TANAKA MASAAKI;IMADA KATSUHIRO |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/24;C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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