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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0238575(A) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 JP19880186462 申请日期 1988.07.26
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 IKEGUCHI HIROSHI;ISHIDA MAMORU;MORI KOJI;SANO YUTAKA;HIROI MASAKI
分类号 C03C27/02;C23C16/50;H01L21/324 主分类号 C03C27/02
代理机构 代理人
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