| 发明名称 |
APPARATUS FOR LOW-ENERGY SCANNING ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0200083(B1) |
申请公布日期 |
1990.02.07 |
| 申请号 |
EP19860105143 |
申请日期 |
1986.04.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
WELLS, OLIVER CRAIG |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
