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发明名称 HIGH DOSE ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH0237656(A) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 JP19880184493 申请日期 1988.07.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD;MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD 发明人 OKADA NORIAKI;HAMAZAKI HISAO
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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