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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0236538(A) 申请公布日期 1990.02.06
申请号 JP19880185641 申请日期 1988.07.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 NARITA YUKIHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L23/62;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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