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发明名称 PROVER
摘要
申请公布号 JPH0236368(A) 申请公布日期 1990.02.06
申请号 JP19880185941 申请日期 1988.07.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORII TOMOYUKI
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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