发明名称 |
MISTURA SENSIVEL A IRRADIACOES E MATERIAL DE REGISTRO SENSIVEL A IRRADIACOES |
摘要 |
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申请公布号 |
BR8902919(A) |
申请公布日期 |
1990.02.06 |
申请号 |
BR1989PI02919 |
申请日期 |
1989.06.16 |
申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ANDREAS ELSAESSER;WERNER FRASS;DIETER MOHR |
分类号 |
G03F7/022;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/032;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/10 |
主分类号 |
G03F7/022 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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