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发明名称 Single crystal wafer of lithium tantalate
摘要
申请公布号 US4898641(A) 申请公布日期 1990.02.06
申请号 US19880221325 申请日期 1988.07.19
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 OGIHARA, MASAHIRO;MAKIKAWA, SHINJI;IGUCHI, MASAAKI
分类号 C30B29/30;C30B15/00;H01L41/18;H03H9/02 主分类号 C30B29/30
代理机构 代理人
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