| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0236526(A) |
申请公布日期 |
1990.02.06 |
| 申请号 |
JP19880185615 |
申请日期 |
1988.07.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UDA HIDE;OWADA NOBUO;HORIUCHI MITSUAKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/20;H01L21/28;H01L21/324;H01L21/331;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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