| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR ELECTROSTATIC DETECTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0236366(A) |
申请公布日期 |
1990.02.06 |
| 申请号 |
JP19880185644 |
申请日期 |
1988.07.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI YONEZAWA ELECTRON CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI TOSHIRO |
| 分类号 |
G01R29/12;G01R29/24;H01L21/66;H05F3/00 |
主分类号 |
G01R29/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
