发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0236561(A) 申请公布日期 1990.02.06
申请号 JP19880185617 申请日期 1988.07.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 YASUOKA HIDEKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/732;H01L29/78 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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