ION IMPLANTATION METHOD,申请号JP19880181736-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号	JPH0232536(A)	申请公布日期	1990.02.02
申请号	JP19880181736	申请日期	1988.07.22
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	INOUE MICHIHIRO
分类号	H01L21/266	主分类号	H01L21/266
代理机构		代理人
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