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发明名称 PROCEDE ET APPAREIL POUR LA PRODUCTION PAR PLASMA DE COUCHES MINCES A USAGE ELECTRONIQUE ET/OU OPTOELECTRONIQUE
摘要
申请公布号 FR2621930(B1) 申请公布日期 1990.02.02
申请号 FR19870014245 申请日期 1987.10.15
申请人 SOLEMS 发明人 JACQUES SCHMITT
分类号 C23C14/24;C23C14/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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