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经营范围
发明名称
DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0231421(A)
申请公布日期
1990.02.01
申请号
JP19880182058
申请日期
1988.07.21
申请人
NEC CORP
发明人
TAKANE TORU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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