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发明名称 VAPOR-PHASE EPITAXIAL GROWTH PROCESS
摘要
申请公布号 JPH0230694(A) 申请公布日期 1990.02.01
申请号 JP19890065694 申请日期 1989.03.16
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 YONEYAMA SHUNICHI;MAEDA MASAHIRO
分类号 C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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