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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0216075(U) 申请公布日期 1990.02.01
申请号 JP19880093862U 申请日期 1988.07.15
申请人 发明人
分类号 G01R31/28;G01R31/00;G01R31/08;H01L21/66;H05K13/08;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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