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发明名称 APPARATUS FOR PULLING UP SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0230692(A) 申请公布日期 1990.02.01
申请号 JP19880179375 申请日期 1988.07.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YASUNAGA TOSHIO;FUJII TAKASHI;NISHIO JOSHI
分类号 C30B15/14;H01L21/208 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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