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发明名称 VERFAHREN ZUM ERHALT EINER SAUBEREN SILIZIUMOBERFLAECHE
摘要
申请公布号 DE3925070(A1) 申请公布日期 1990.02.01
申请号 DE19893925070 申请日期 1989.07.28
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAWAI, KENJI;OGAWA, TOSHIAKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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