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发明名称 FORMATION OF RESIST FILM
摘要
申请公布号 JPH0228919(A) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 JP19880178078 申请日期 1988.07.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IDOTA TAKESHI;YOSHIMURA RIE
分类号 G03F7/16;B65D1/40;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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