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发明名称 DEVICE HAVING SUPERLATTICE STRUCTURE, AND METHOD OF AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0317952(A3) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 EP19880119409 申请日期 1988.11.22
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 YAMAGUCHI, HIROSHI;SAITO, KEIYA;ITOH, FUMIKAZU;ISHIDA, KOJI;SAKANO, SHINJI E403 HITACHI-KOYASUDAI-APARTMENT;TAMURA, MASAO;SHUKURI, SHOJI;ISHITANI, TOHRU;ICHIGUCHI, TSUNEO A403 HITACHI-KOYASUDAI-APARTMENT
分类号 H01L21/20;G01Q30/16;G01Q60/44;H01J37/08;H01J37/305;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/338;H01L21/822;H01L21/8252;H01L29/06;H01L29/15;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/205;H01L21/306;H01L21/268;H01L21/316 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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