发明名称 |
CONTACTS OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0268266(A3) |
申请公布日期 |
1990.01.31 |
申请号 |
EP19870116966 |
申请日期 |
1987.11.17 |
申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
SAMATA, SHUICHI C/O PATENT DIVISION;MATSUSHITA, YOSHIAKI C/O PATENT DIVISION |
分类号 |
H01L21/283;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/41;H01L29/45;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/40 |
主分类号 |
H01L21/283 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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