发明名称 CONTACTS OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP0268266(A3) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 EP19870116966 申请日期 1987.11.17
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 SAMATA, SHUICHI C/O PATENT DIVISION;MATSUSHITA, YOSHIAKI C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/283;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/41;H01L29/45;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/40 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
地址