位置绝对测量用电容型测试装置

摘要

位置绝对测量用电容型测试器，包括可相对测试轴位移的第一和第二支承构件(20，30)，位于构件20上的第一发射机电极阵310，构件30上的第一接收机电极阵201A/210B使该阵列与阵列310成相对电容耦合，位于构件30上的与阵列210A/210B排列成行的第二发射机电极阵列，各第二发射机电极电气连到相应的第一接收机电极，以使其间的偏移量是第二发射机电极相对于测试轴上的基准位置的预定函数。从而实现用同一电极阵列进行不同分辨力测量和高精度绝对位置测量。

主权项

1、电容型测试装置包括： 第一和第二支承构件，所说的支承构件可彼此相互移动，而且至少一个所说的支承构件可相对于测试轴移动； 位于所说的第一支承构件上的第一发射机电极阵列与所说的测试轴排成一条直线； 位于所说的第二支承构件上的第一接收机电极阵列与所说的测试轴排成一条直线，所说的第一接收机电极阵列的不同位置与所说的第一发射机电极阵列依所说支承构件的相对位置成电容性耦合；和 位于所说第二支承构件上的第二发射机电极阵列与所说的第一接收机电极阵列排成一条直线，每一个所说的第二发射机电极电气连接到相应的一个所说的第一接收机电极上，致使与相应的第一接收机电极有偏移，偏移量是第二发射机电极的位置相对于所说测试轴上的基准位置的予定函数。