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Zum Beleuchten eines Objektes in einem Transmissions-Elektronenmikroskop werden zwei Kondensorlinsen (13a, 13b) derart verwendet, daß sie ein Bild der Elektronenquelle mit unterschiedlicher Verkleinerung abbilden. Dieser Crossover (11c) wird im TEM-Betrieb durch eine dritte Kondensorlinse (14) in die Brennebene (17b) einer KOE-Vorfeldlinse (17v) abgebildet, wodurch mit seiner Größe die Beleuchtungsapertur eingestellt werden kann. Vor der KOE-Linse (17) wird der Elektronenstrahl durch zwei in unterschiedlichen Ebenen angeordnete Blenden (35, 39; 35, 45; 95, 99) und durch mindestens ein Ablenksystem (16) so beschnitten, daß die Größe des Beleuchtungsfeldes auf dem Objekt (18) nur wenig größer ist als der vom Elektronenmikroskop vergrößerte Bereich. Größe des Beleuchtungsfeldes und Beleuchtungsapertur sind unabhängig voneinander einstellbar.
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