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经营范围
发明名称
LIQUID GROWTH METHOD
摘要
申请公布号
JPH0228920(A)
申请公布日期
1990.01.31
申请号
JP19880179730
申请日期
1988.07.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAGI TETSUYA
分类号
H01L21/208
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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