| 发明名称 |
DISC SCANNER FOR BATCH TYPE ION IMPLANTATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0230048(A) |
申请公布日期 |
1990.01.31 |
| 申请号 |
JP19890120595 |
申请日期 |
1989.05.16 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
ABURAMU FUREITSUISU;RICHIYAADO JIYON HAATERU;ERITSUKU ERU MIAAZU |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/673;H01L21/687 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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